新品发布！！MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀

更新时间：2026-08-10

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新品发布！！MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀｜闸板式高真空精密调压闸阀

近期我司新推出MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀｜闸板式高真空精密调压闸阀

MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀，属于闸板式电动伺服真空调压闸阀，依靠伺服电机驱动闸板升降，实现全闭至全开连续无级流量调节，适用于 10⁵Pa～10⁻⁶Pa 高真空系统，口径覆盖 80A‑400A，法兰支持 JIS、ISO‑F、CF 刀口法兰，广泛用于半导体、光学镀膜、新能源、大型科研真空装备，实现真空腔体闭环压力控制。

主要技术特征

1、闸板式流道结构：闸板升降式，全开闸板全移出流道，流导性能优异，排气阻力低，缩短大腔体抽真空周期；小开度区间节流线性稳定，气流扰动小，工艺压力控制平稳。

2、断电电磁抱闸保护：伺服机构内置电磁制动器，断电即刻锁止闸板位置，抑制腔体压力突变，保护工艺工件，提升设备运行安全等级，是该系列重要安全特性。

3、高洁净低泄漏：接触气体部件 SUS304 不锈钢研磨处理，无尘室组装；内漏、轴向外漏≤1×10⁻¹⁰ Pa・m³/s；标准 FKM 氟橡胶密封，低放气、低产尘，适配半导体洁净制程。

4、伺服闭环控制：配合原厂 MGCS‑11、MG‑mini485 控制器，接收 DC0‑10V、4‑20mA 信号；接入真空计可完成 PID 全自动稳压；阀位信号回传，对接 PLC 完成设备自动化联锁。

5、安装适应性强：无安装姿态限制，水平、垂直、倾斜均可装配；运行低噪音低振动，适合 24 小时连续量产工况。

典型应用

1、半导体行业：8‑12 寸晶圆刻蚀、PECVD、CVD 薄膜沉积腔体真空压力调节；

2、显示与光伏产业：大型基板溅射、蒸镀镀膜设备主管路精密调压；

3、工业真空装备：大型真空热处理炉、涂层设备主抽管路流量控制；

4、科研领域：大型高真空模拟腔体、试验装置压力闭环控制。

同品牌选型区分

GAR 系列：闸板式，大口径 80A‑400A，标配电磁抱闸，高洁净、断电锁止，量产精密调压；
BAR 系列：蝶板式，口径 25A‑250A，无断电抱闸，中小口径通用伺服调压，性价比更高。

使用注意事项

1、阀门本体不能单独使用，必须搭配原厂对应控制器；

2、阀体最高烘烤温度 150℃，伺服电机、制动器严禁烘烤加热；

3、强腐蚀工艺环境，密封组件建议升级全氟醚橡胶；

4、安装时避免外力冲击伺服电机部分。