新品发布！！MIYUKI 美幸辉 MGCS‑11 自动压力控制控制器

更新时间：2026-08-10

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新品发布！！MIYUKI 美幸辉 MGCS‑11 自动压力控制控制器｜真空 APC 闭环控制器

近期我司新推出MIYUKI 美幸辉 MGCS‑11 自动压力控制控制器｜真空 APC 闭环控制器

MIYUKI 美幸辉 MGCS‑11 自动压力控制控制器，是用于真空腔体全自动压力闭环调节的 APC 控制器，专门配套原厂 BAR 伺服蝶阀、GAR 伺服闸阀，实现 0.1Pa‑10⁵Pa 压力区间精密稳压，广泛应用半导体、光学镀膜、新能源、科研真空装备，完成工艺腔体压力自动控制、配方管理、设备联锁监控。

主要技术特征

1、高精度闭环 PID 控制内置优化 PIDAT 自整定算法，7 组工艺参数记忆存储；控压精度可达设定值 ±0.1%；支持微分先行、抗积分饱和，抑制压力震荡，大小腔体均可获得稳定控制效果。双路真空计 0‑10V 模拟输入，可切换高低真空传感器，适配抽气全过程。自带 DC±15V、DC24V 真空计供电输出，简化系统接线。

2、多元操作与通讯能力4 英寸单色 LCD 触摸屏，本地完成参数设置、压力 / 开度显示、报警查看；数字 DI/O 开关量、0‑10V 模拟量、RS‑232C 串口多重接口；可对接 PLC 与上位机，实现远程设定、阀位回读、故障报警输出，融入设备自动化流程。

3、完备安全机制上电自动原点复位，消除阀门位置漂移；电机堵转、故障自检，继电器报警输出；支持外接 UPS 不间断电源实现断电保护；可驱动 GAR 闸阀电磁制动器回路，实现断电锁止阀位，保护腔体内工件。

4、机架式集成设计半尺寸 19 英寸机架结构，尺寸 241×344×143.5mm，重量 4kg；供电 AC100‑230V 单相，功耗最大 180W；使用环境 0‑55℃，湿度≤85%，适合机柜内部安装。

典型应用

1、半导体行业：刻蚀、PECVD、CVD、离子注入工艺腔体闭环压力控制；2、光学光伏产业：溅射、蒸镀镀膜设备，大面积基板产线恒压控制；3、工业真空装备：真空热处理炉、锂电脱泡烧结设备管路调压；4、科研领域：各类大型高真空试验腔体，材料实验真空系统。

同系列选型区分

MGCS‑11：带触摸屏，支持本地操作，RS‑232，可驱动 GAR 抱闸，适合设备调试、量产设备；
MG‑mini485：无触摸屏，RS485 Modbus 总线，体积小巧，适合嵌入式集成、多腔体组网，不支持 GAR 制动器驱动。

使用注意事项

1、控制器仅适配 MIYUKI BAR/GAR 伺服调压阀，不能驱动第三方阀门；2、GAR 闸阀使用，电机线缆、制动器线缆需单独订货；3、控制器安装于电控机柜，不可高温烘烤，远离腐蚀性气体；4、真空计输出信号为 0‑10V 模拟信号，选型真空计时需要确认输出规格匹配。

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