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新品发布!!MIYUKI 美幸辉 B 系列气动真空蝶阀|两位式高真空切断阀

更新时间:2026-08-10      浏览次数:7

新品发布!!MIYUKI 美幸辉 B 系列气动真空蝶阀|两位式高真空切断阀 

新品发布!!MIYUKI 美幸辉 B 系列气动真空蝶阀|两位式高真空切断阀 


近期我司新推出MIYUKI 美幸辉 B 系列气动真空蝶阀|两位式高真空切断阀 

产品概述

MIYUKI 美幸辉 B 系列气动真空蝶阀,为齿条‑齿轮驱动两位式真空隔断阀,用于真空管路的通断隔离,适用压力范围 10⁵Pa~10⁻⁵Pa,口径 25A‑400A,法兰支持 JIS / ISO / KF (NW) / CF,广泛用于半导体、光学镀膜、真空热处理、新能源、科研仪器等工业真空系统。

主要技术特征

1、驱动机构:齿轮‑齿条气动执行,气缸推力放大,行程末端空气缓冲,启闭平稳,减少冲击振动,提升密封件耐久寿命;
2、密封性能:SUS304 气体接触部件,FKM 氟橡胶双重 O 型圈密封(阀板密封 + 阀杆轴封),漏率≤1×10⁻⁹ Pa・m³/s;无尘室装配,低析出、低颗粒,满足洁净工艺;
3、流导结构:薄面间阀体,同口径下气体通导能力高,减小管路压降,缩短抽气周期;
4、安装特性:无安装姿态限制,水平、垂直、倒置均可安装;
5、电气反馈:标配全开、全闭微动位置检测开关,可接入 PLC,实现自动化状态监控与联锁。

典型应用

1、半导体行业:真空泵隔离阀、工艺腔体主抽管路切断;
2、光学光伏:溅射、蒸发镀膜设备真空管路通断隔离;
3、新能源工业:锂电真空烘干、脱泡设备管路隔断;
4、真空热处理:扩散炉、退火炉真空管路开关;
5、科研实验室:各类高真空试验腔体管路控制。

选型区分

  • B 系列:两位式,仅全关、全开,用于简单通断隔离;

  • BH 系列:两级开度气缸,支持 0‑45° 中间开度,实现慢抽 / 慢泄压,保护腔体工件,适合有防气流冲击要求的工艺系统。

使用注意事项

1、驱动气源:0.4‑0.6MPa,必须干燥无油;
2、烘烤限制:阀体最高烘烤 150℃,气缸部分严禁高温烘烤;
3、腐蚀性工艺气体场景,建议升级全氟醚橡胶密封组件。



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