描述：GAR‑I200B MIYUKI美幸辉 真空伺服控制闸阀 GAR‑I160B
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GAR‑I200B MIYUKI美幸辉 真空伺服控制闸阀 GAR‑I160B

GAR‑I200B MIYUKI美幸辉 真空伺服控制闸阀 GAR‑I160B

MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀，为中大口径高真空系统设计，兼具流量连续调节与管路全切断功能，通径 80A‑400A，适用压力 10⁵Pa～10⁻⁶Pa 。

阀体接气部分 SUS304 不锈钢，低放气、低颗粒析出；伺服电机直驱无背隙，全行程开度可控，微小开度下流量线性稳定；标配 B 电磁刹车机构，断电锁止闸板位置，可实现密封隔离，防止大气倒灌损坏工件样品。

阀座、轴封泄漏指标优异，可选择 Kalrez‑K 密封版本适配等离子、腐蚀性气体。支持 JIS、KF、ISO‑F、CF 多种法兰接口。与 MGCS‑11 压力控制器配套，实现腔体 PID 闭环压力自动控制，广泛用于半导体、大面积真空镀膜、光伏、科研高真空系统主排气管路调压与切断。阀体最高耐受烘烤 150℃，伺服电机环境温度不可超过 40℃。

特征

01. 具有优异排气特性的闸阀。

02. 支持 80A 至 400A 的多种直径。

03. 即使在停电时也能全密封。

04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。

05. 可实现流量控制直至全关闭的结构。

06. 由于采用不锈钢磨料，气体释放量低。

规格