USHIO光学测量技术——紫外照度计与受光器探头的精密测量方案

更新时间：2026-06-11

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在半导体制造、紫外固化和精密光学检测等领域，对紫外光能量的精准度量是保障工艺一致性、提升产品质量的核心前提。USHIO的UIT系列紫外积分照度计及受光器探头，已成为工业界高精度光辐射测量的事实标准。

USHIO受光器的核心原理基于光电效应，通过前端光学透镜聚焦以提高光收集效率并确定视场角，再由核心光敏半导体元件将光子能量激发为与光强成正比的微弱电流信号，完成光信号到电信号的高保真转换。UIT-250系列主机作为数据显示、记录和控制的中央单元，通过更换不同受光器探头可适应不同波长和安装场景的测量需求，采用模块化设计的探头分为分体型（S）和一体型（C）两类，分体型通过线缆连接适用于高温、狭窄空间等恶劣环境。

该系列受光器采用特殊的紫外传感元件和滤波片组合，紫外灵敏度劣化速度降至以往产品的十分之一，保证了长期测量稳定性。主机功能支持实时照度、峰值照度、积分光量、照度分布乃至温度分布的测量，内置存储器可记录长达4分钟的连续数据，并通过串行通信实现PC端数据深度分析。从半导体光刻机曝光能量均匀性检测，到UV LED固化工艺中照度实时监测，USHIO受光器为化工与微纳加工领域的紫外工艺提供了精准可靠的度量工具。

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