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产品介绍/ PRODUCT PRESENTATION现货!MIYUKI美幸辉 GAR‑J400B 真空闸阀 GAR‑J350B
现货!MIYUKI美幸辉 GAR‑J400B 真空闸阀 GAR‑J350B
MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀,为中大口径高真空系统设计,兼具流量连续调节与管路全切断功能,通径 80A‑400A,适用压力 10⁵Pa~10⁻⁶Pa 。
阀体接气部分 SUS304 不锈钢,低放气、低颗粒析出;伺服电机直驱无背隙,全行程开度可控,微小开度下流量线性稳定;标配 B 电磁刹车机构,断电锁止闸板位置,可实现密封隔离,防止大气倒灌损坏工件样品。
阀座、轴封泄漏指标优异,可选择 Kalrez‑K 密封版本适配等离子、腐蚀性气体。支持 JIS、KF、ISO‑F、CF 多种法兰接口。与 MGCS‑11 压力控制器配套,实现腔体 PID 闭环压力自动控制,广泛用于半导体、大面积真空镀膜、光伏、科研高真空系统主排气管路调压与切断。阀体最高耐受烘烤 150℃,伺服电机环境温度不可超过 40℃。
特征
01. 具有优异排气特性的闸阀。
02. 支持 80A 至 400A 的多种直径。
03. 即使在停电时也能全密封。
04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。
05. 可实现流量控制直至全关闭的结构。
06. 由于采用不锈钢磨料,气体释放量低。
规格
| 口径 | 80A 至 400A |
|---|---|
| 工作压力范围 | 10⁵ Pa 至10⁻⁶ Pa |
内部密封件(阀门)泄漏 | 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低 |
外部密封件(轴)泄漏量 | 1× 10⁻¹⁰ Pa·m³ / s 或更低 |
| 气体接触部件的材料 | SUS304 |
| 阀门密封 | 氟橡胶O型圈 |
| 轴封 | 氟橡胶O型圈 |
| 耐热温度 | 主机:150℃ |
| 电机:40℃ | |
| 停电期间阀门运行* | 停止(刹车锁) |
*GAR在安装位置方面存在一些限制。详情请联系我们。
*我们还可以生产防断电产品。