描述：MIYUKI美幸辉 真空控制蝶阀 半导体镀膜腔体 BAR‑I25
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MIYUKI美幸辉 真空控制蝶阀 半导体镀膜腔体 BAR‑I25

MIYUKI美幸辉 真空控制蝶阀 半导体镀膜腔体 BAR‑I25

MIYUKI 美幸辉 BAR 系列伺服真空控制蝶阀，为高真空腔体流量、压力闭环调节专用阀门，通径覆盖 25A‑250A，适用压力范围 10⁵Pa～10⁻⁵Pa。

采用伺服电机直驱阀轴，无齿轮传动结构，实现无背隙开度调节，微小开度下流量线性稳定。阀体内无金属滑动摩擦副，有效减少粉尘颗粒析出，满足半导体、镀膜工艺洁净需求。

接触气体部分为 SUS304 不锈钢，标准 FKM 氟橡胶 O 型圈密封；内漏≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，轴封外漏≤1×10⁻¹⁰Pa・m³/s，泄漏指标优异。

支持 JIS、KF、ISO‑F、CF 多种法兰接口；可选 Kalrez 高温密封、断电刹车自锁版本。

可搭配 MGCS‑11 压力控制器组成完整真空稳压系统，广泛用于 PVD 镀膜、等离子刻蚀、材料真空热处理、科研真空实验腔体。

特征

01. 结构简单的蝶阀。

02. 支持 25A 至 250A 的多种直径。

03. 取消了金属滑动部件，从而减少了颗粒物的产生。

04. 开启、关闭和控制操作噪音极低。

05. 在小开口处实现压力稳定性。

06. 由于电机直接驱动，因此没有反冲。