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更新时间:2026-08-31
浏览次数:17新品发布!!日本 FLUORO 福乐 F001‑D‑X‑101 耐化学真空吸笔
新品发布!!日本 FLUORO 福乐 F001‑D‑X‑101 耐化学真空吸笔
近期我司新推出日本 FLUORO 福乐 F001‑D‑X‑101 耐化学真空吸笔
半导体湿法工艺槽内作业,普通防静电吸笔无法耐受酸碱药液腐蚀。FLUORO 福乐 F001‑D‑X‑101 属于 F 系列耐化学真空吸笔,采用 PTFE 特氟龙主体,搭配 X 万向旋转接头,可在带药液工况下拾取晶圆、基板,是清洗、刻蚀工序专用手动负压拾取工具。
FLUORO 福乐 F001‑D‑X‑101,F001 为本体型号,D 代表 NC 常关阀体(按住吸附,松开释放),X 代表360° 万向旋转接头,101 为吸嘴接口规格,可直接装配 06‑PK 等 PEEK 吸嘴使用。笔身整体 PTFE 特氟龙材质,内部阀芯氟树脂防腐处理,耐受强酸、强碱、各类有机溶剂,适配湿法槽体狭小空间作业,万向接头可以自由调整吸附角度,不用转动笔身即可对准工件。整机轻量化,重量约 24‑35g,长时间手持作业不易疲劳,模块化设计,吸嘴属于消耗件,可单独更换,无需替换整支吸笔。
区分说明:C 系列为防静电干态吸笔;F 系列 F001‑D‑X‑101 主打耐化学湿法场景。
优异耐化学腐蚀:笔身、阀体接触介质部位全部 PTFE 材质,可直接接触各类酸碱、有机溶剂,不易溶胀、析出微粒,适配半导体湿法工位。
X 万向旋转接头:吸附头部 360° 自由旋转,槽体内部、狭小腔体内作业,握持笔身不动即可调整吸附角度,操作灵活。
NC 常关点动阀:按下按钮负压吸附,松开瞬间释放工件,响应快,适合频繁取放晶圆、基板工件。
低发尘洁净等级:部件抛光处理,颗粒析出少,可用于百级、千级无尘洁净环境。
模块化快拆结构:吸嘴快速拆装替换,可搭配 06‑PK、各类 PK 系列 PEEK 吸嘴;可对接 FV‑10‑240 真空泵,851‑M、851‑L、852 真空软管组成整套拾取系统。
气密性稳定:氟树脂阀芯密封,负压损耗小,吸力输出稳定,薄晶圆拾取不易掉片。
半导体行业:湿法清洗、刻蚀后带药液硅片、碳化硅基板、化合物半导体晶圆取放转运
光电行业:玻璃衬底、光学薄片湿法工序拾取
科研实验室:化学处理后样品、薄片基板无尘转移
半导体工艺:槽体作业、晶圆上料下料、目视检测工位
F001‑D‑X‑101 为万向接头耐化学吸笔;直头版本为 F001‑D‑101;阀体可区分 F002(NO 常开型,按下释放)。本品仅为吸笔本体,真空泵、软管、吸嘴需另行选配。池田屋商社周小姐可提供 FLUORO 福乐