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新品发布!!日本 FLUORO 福乐 06‑PK PEEK 晶圆吸嘴

更新时间:2026-08-31      浏览次数:37

新品发布!!日本 FLUORO 福乐 06‑PK PEEK 晶圆吸嘴

新品发布!!日本 FLUORO 福乐 06‑PK PEEK 晶圆吸嘴


近期我司新推出日本 FLUORO 福乐 06‑PK PEEK 晶圆吸嘴


半导体 4 英寸硅片、薄片基板在无尘工序转运时,吸嘴材质、接触端面直接关系工件良率。FLUORO 福乐 06‑PK 为 PEEK 材质圆盘式晶圆专用吸嘴,适配 F 系列耐化学真空吸笔,多用于 100mm(4 英寸)硅晶圆拾取,是湿法、干法无尘工位高频更换耗材。

产品简介

FLUORO 福乐 06‑PK 吸嘴,PK 代表 PEEK 材质,圆盘吸附结构,专为 4 英寸晶圆设计,可装配 F001‑Z‑06‑PK、F002‑Z‑06‑PK 等 F 系列真空吸笔使用。PEEK 基材洁净度高、耐化学腐蚀,适配清洗、刻蚀前后晶圆取放,低颗粒析出,降低基板划伤、污染风险,广泛用于半导体实验室、封装测试产线。同系列可选择不同尺寸吸嘴,对应 2‑6 英寸各类晶圆基板。

核心特点

  1. PEEK 耐化学材质:耐各类酸碱溶剂,可适配湿法槽体作业,耐受清洗药液,不易溶出污染物,兼顾防静电洁净性能。

  2. 大圆盘吸附面:吸附接触均匀,薄型硅片不易形变,吸力分布均衡,降低碎片风险,适配 4 英寸整片晶圆拾取。

  3. 低损伤端面:接触面精密抛光处理,不会划伤晶圆表面、光刻胶以及镀膜层,保障器件良率。

  4. 低发尘洁净等级:满足百级千级无尘室使用要求,颗粒析出少,适配半导体洁净制程。

  5. 拆装便捷兼容性强:标准接口,直接替换安装,适配 FLUORO 福乐 F001、F002、F003 等 F 系列真空吸笔;可搭配 FV‑60 真空泵、851‑M/851‑L/852 真空软管组成整套拾取系统。

  6. 耐磨使用寿命长:PEEK 机械强度高,反复拆装、接触作业不易变形磨损,相比橡胶吸嘴更换周期更长。

主要应用场景

  • 半导体行业:4 英寸硅晶圆、碳化硅薄片、化合物半导体基板取放、划片、清洗、检测工序

  • 光电行业:4 英寸玻璃衬底、光学薄片无尘转移

  • 科研实验室:半导体材料样品、薄片基板手工拾取转运

  • 封装测试:晶圆上料、下料、目视检测工位

选型与采购说明

06‑PK 适配 4 英寸晶圆;工件尺寸改变需要更换对应规格吸嘴。本品仅为吸嘴耗材,不含吸笔、真空泵、软管。池田屋商社周小姐可提供 FLUORO 福乐 F 系列、C 系列真空吸笔,各类吸嘴、真空泵、抗静电软管的型号核对、现货询价、供货对接服务。




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