描述：MIYUKI美幸辉 BH‑J63半导体双气缸气动蝶阀 BH‑J50
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BH系列气动蝶阀

其结构简单的齿轮齿条驱动系统确保了好的可靠性。就其孔径而言，其导通性能在真空阀中最高。

MIYUKI美幸辉 BH‑J63半导体双气缸气动蝶阀 BH‑J50

特征

01. 该阀门可在两个位置操作：0 至 45 度和 90 度（w全打开），从而允许使用单个阀门进行慢速和高速排气。

02. 除了标准的全闭式和全开式气缸外，该系统还具有两级结构，其气缸允许阀门开度在 0 到 45 度的范围内任意设置。

03. 尽管体积小，但气缸打开时推力加倍（确保可靠运行），并在行程末端提供气垫效应（减轻冲击）。

04. w全关闭时，阀体w全密封。

05. 安装位置或安装方向没有限制。

06. 层间距非常薄，因此具有优异的导电性能。

07. 组装和检验在洁净室中进行。

MIYUKI美幸辉 BH‑J63半导体双气缸气动蝶阀 BH‑J50

规格

MIYUKI 美幸辉 BH 系列为双气缸两段式气动真空蝶阀，具备 0° 全关、0‑45° 可调节流慢开、90° 全开三档位动作，单阀实现慢抽、缓破空、大通量抽气，省去旁路阀，减少管路漏点。

阀体 SUS304 材质，洁净室装配，泄漏率≤1×10⁻⁹Pa・m³/s，适用 10⁵~10⁻⁵Pa 真空系统；标配微动开关输出全关 / 节流 / 全开信号，对接 PLC 自动化控制；气源 0.4‑0.6MPa，安装无姿态限制。

广泛用于半导体 PVD/CVD、光学镀膜、锂电真空脱泡、真空热处理、科研真空腔体，解决破空气流冲击损伤工件的工艺痛点。

密封标准 FKM 氟橡胶，可选 Kalrez 全氟醚密封适配腐蚀等离子工况。