新品发布！！MIYUKI 美幸辉 AEH 系列 L 型真空角阀

更新时间：2026-08-10

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近期我司新推出MIYUKI 美幸辉 AEH 系列 L 型真空角阀

MIYUKI 美幸辉 AEH 系列为带中间停止功能的气动 L 型直角真空阀，基于 AE 系列开发，气缸配置可调机械限位，可实现全关、中间节流、全开三位置定位，一台阀门完成管路切断、慢抽、缓慢泄压。通径 NW16‑NW50，仅 KF (NW) 快拆法兰，适用压力 10⁵Pa～10⁻⁵Pa 中真空系统，广泛用于小型镀膜、真空脱泡、科研实验、半导体检测设备等需要缓破空的真空管路。

主要技术特征

1、三位置中间停止机构

双作用气动气缸，两端可调限位螺丝，可预先设定中间节流开度。工艺过程可实现慢抽减压、缓破空泄压，避免气流冲击腔体工件，省去独立破空旁路阀，简化管路，减少泄漏点。

2、密封与真空性能

阀体 SUS304 不锈钢；阀杆轴封、阀座密封均为 FKM 氟橡胶 O 型圈；整机漏率≤1×10⁻⁸Pa・m³/s；阀体最高允许烘烤温度 150℃，气缸执行机构不可加热烘烤。

3、流导与安装

L 型直角流道，全开流导：N16=4L/s、N25=14L/s、N40=51L/s、N50=73L/s；支持双向压差密封；无安装姿态限制，水平、垂直均可装配；机械寿命≥5×10⁵次。

4、自动化对接

驱动气源 0.4‑0.6MPa 干燥洁净压缩空气；可选配磁感应位置开关，输出全开、中间位置、全关信号，对接 PLC、电磁阀实现设备自动化联锁控制。

典型应用

1、光学镀膜：小型蒸发、溅射设备腔体泄压慢破空；

2、新能源工业：小型锂电真空脱泡、干燥设备管路；

3、科研实验室：各类中小型真空试验腔体、样品处理装置；

4、半导体检测：测试腔体预抽、泄压管路。

同品牌系列选型对比

1、AE 系列：气动两档 L 型阀，只有全开全关，纯管路切断，无中间节流；

2、AEH 系列：气动三档 L 型阀，带中间停止，用于慢抽、缓破空；KF 法兰中小口径，中真空；

3、AB 系列：气动波纹管 L 型阀，两档通断，支持 200℃烘烤，高真空，无中间停止。

使用注意事项

1、仅支持 KF (NW) 快拆法兰，无 JIS、CF 法兰版本；

2、阀体可最高 150℃烘烤，气缸、磁性开关严禁高温加热；

3、中间节流开度需要现场调节气缸限位螺钉，出厂未预设节流位置；

4、气源必须干燥无油，油水会缩短气缸与密封圈使用寿命；

5、腐蚀性介质工况，建议升级全氟醚橡胶密封组件。

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