新品发布！！USHIO牛尾紫外线灯管 UXM-501MD

更新时间：2026-04-08

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近期我司新推出USHIO牛尾紫外线灯管 UXM-501MD

在半导体、液晶显示与封装基板的精密制造中，光刻工艺是决定线路精度的核心环节，而光源的优劣直接制约着曝光分辨率与量产良率。日本牛尾电机（USHIO）推出的 UXM-501MD 深紫外超高压汞灯，正是为满足光刻设备对短波长、高亮度、高稳定性光源的严苛需求而开发的专用光源，广泛应用于封装基板步进机等核心制程设备中。

专攻深紫外，短波高能
UXM-501MD 的核心技术优势在于其光谱特性。它以氙气灯为基底，填充水银等金属蒸气，既保留了氙灯从紫外到红外区的连续光谱优势，又融入了超高压汞灯在紫外区的高能量特性，且在 400nm 以下的短波长区域辐射强度远超传统超高压汞灯。其有效辐射波长集中于 230–320 nm 的深紫外波段，正好匹配光刻胶的敏感响应区间，为高分辨率微细线路成形提供了理想的光化学能量源。

精准规格，稳定长效
作为一款 500W 功率等级的深紫外光源，UXM-501MD 的灯电压为 25±2 V，灯电流约 20 A。在 1 米距离处，210–300 nm 波段的水平辐照度达 280 μW/cm²，360–370 nm 波段为 180 μW/cm²，总光通量 20,000 lm。电极间冷距为 3.0 mm，灯弧尺寸极小，接近理想点光源，便于光学系统高效聚光与均匀照明。平均寿命达 600 小时（以水平辐照度或总光通量降至初期的 70% 为界定标准），在同类产品中具备良好的长效稳定性。

应用聚焦，品质基石
UXM-501MD 是专门面向封装基板用步进机开发的光源，被广泛搭载于服务器、个人电脑、智能手机及平板电脑等移动设备中使用的封装应用步进机，结合 USHIO 的大面积投影透镜技术与 TTL 非曝光波长对准方法，可实现设计规则线距 5 μm 的高分辨率曝光，以及 ±50 至 100 μm 的深景深，有效应对基板台阶、翘曲或波纹带来的对焦偏差。该灯也是 USHIO 旗下多款光刻设备的核心光源之一。

UXM-501MD 以深紫外区的高能量输出、近似点光源的优异聚光特性以及稳定的长寿命表现，为半导体及封装基板制造中的微细光刻工艺提供了坚实的光源保障，是支撑高精度、高量产光刻品质的“光刻之芯"。

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