新品发布！！EBARA荏原半导体用干式真空泵 EV-S50P

更新时间：2026-03-30

浏览次数：17

近期我司新推出EBARA荏原半导体用干式真空泵 EV-S50P

EBARA 荏原 EV-S50P 是专为半导体精密制程打造的多级罗茨型干式真空泵，以j致节能、超净无油、紧凑可靠为核心优势，是g端半导体制造轻负载工艺的理想真空解决方案。该泵采用荏原转子设计与无油干式运行技术，60Hz 工况下抽速达 5000L/min，极限真空度优异。搭载高效无刷直流电机，配合智能变频与怠速功能，能耗为同级z低，大幅降低长期运营成本。50/60Hz 双频自适应，q球电网环境下性能稳定一致。P 型号标配氮气吹扫模块，配合防腐材质选型，可有效抵御工艺腐蚀性气体，适配 PVD、灰化、轻蚀刻、负载锁、计量检测等严苛场景EBARA Technologies, Inc.。结构上实现小型轻量化，占地极小，易于机台集成荏原制作所。全泵无油、无接触啮合，o污染、低磨损、低震动，保障半导体工艺超高洁净度。内置x进传感、预警与报警存储系统，通过 LCD 可编程控制器实时监控，有效减少停机时间。产品通过SEMI-S2、CE、NRTL等国际安全认证，符合半导体设备高标准。

EV-S50P 集高能效、高洁净、高可靠、易维护于一体，平衡性能与成本，助力半导体产线稳定高效运行。

上一篇：新品发布！！菊水KIKUSUI 双极性直流电源 PBZ40-10
下一篇：新品发布！！韩国KOSAPLUS 电动执行器 Q5N20-2AL357C14-OP

新品发布！！EBARA荏原 半导体用干式真空泵 EV-S50P

新品发布！！EBARA荏原半导体用干式真空泵 EV-S50P