新品发布！！ULVAC日本爱发科膜片干式真空泵DA-30S

更新时间：2026-03-20

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近期我司新推出ULVAC日本爱发科膜片干式真空泵DA-30S

在半导体工艺、分析仪器和真空吸附的微观世界里，任何微量的油雾都可能成为污染源，导致产品报废或数据失真。日本ULVAC（爱发科）DA-30S 膜片干式真空泵，正是为了捍卫这份“J对洁净"而诞生的真空基石。

作为真空技术领域的L导者，ULVAC将数十年的真空积淀注入这款经典型号。DA-30S采用膜片式干式设计，泵的内部在气体接触部位不使用任何润滑油，实现了从启动到停止的全程无油洁净排气，杜绝了油气回流污染样品的风险。

其核心驱动力源自一段式排气结构。相较于追求更高真空度的二级结构，一段式结构在抽气速度上更具优势。它能在大气压下直接启动，以24 L/min（50Hz）至30 L/min（60Hz）的有效抽速，快速建立真空环境，极限压力可达26.6×10³ Pa（约-74.7 kPa表压）。无论是用于真空吸附固定，还是作为分析仪器的前级排气，它都能提供稳定且高效的动力支持。

安全性与易用性同样被充分考虑在内。泵体内部内置了自动复位型热保护器，当电机因过载或异常过热时自动切断电路，冷却后自动恢复，有效延长了设备寿命。小巧紧凑的机身（仅132×203×182mm）和仅3.9kg的重量，使其便于集成到各种实验设备或小型自动化产线中。

在实际应用中，DA-30S的身影广泛出现在：

科研与分析：作为气相色谱仪、质谱分析仪的真空级泵，确保分析腔体的洁净度。
自动化搬运：配合真空吸盘，用于电子元器件、光学镜片的无损吸附与搬运。
半导体设备：用于晶圆检查装置、探针台等设备的吸附固定，避免油污污染芯片。

值得注意的是，ULVAC也给出了明确的维护指引：为避免泵体过早磨损，不建议长时间连续运行，并应严格避免吸入腐蚀性气体、有机溶剂或水蒸气。作为消耗品，其膜片建议每3000小时定期检查更换。

总而言之，ULVAC DA-30S膜片干式真空泵以无油洁净的本质、稳定可靠的性能，为现代精密工业和科学研究提供了一方纯净、可靠的真空基石。

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