油回转真空泵VS650B / VS750B开始销售的公告

注意

2025 年 2 月 3 日

我们对贵公司的持续成功表示感谢。
非常感谢您一直以来的支持。
我们谨通知您，我们已开始销售以下产品。
我们期待您继续支持我们公司和 ULVAC 产品。

新产品

油旋片真空泵 VS650 / VS750 Ver.B

除了对以前型号的改进和改进之外，我们还在产品阵容中添加了新的低噪音型（VS650B-WL）。

工艺气体监测仪可以分析溅射设备等各种真空设备中的残留气体，并监测工艺过程中（成膜期间）的气体，因此可以检测气体异常（残留水分、碳氢化合物等）、泄漏和其他问题。这是为了防止因工序异常而导致产品缺陷的监视装置。

过程气体监测器提供与气体量成正比的峰值电流，具体取决于气体的质量数，从而相对容易测量大气中存在的气体的成分和丰度比。传统上，这些设备主要用于加热气体分析和破坏气体分析等各种研发应用，但从提高生产率和质量的角度来看，过程控制的需求正在迅速扩大。

ULVAC 拥有广泛的过程气体监测仪系列，从适用于航天和核电等研发应用的高性能、高分辨率型号，到适用于生产线的基本类型。它实现了简单性和易用性，满足所有需求，包括真空设备的过程管理。