EBARA EV-PA500空冷式干式真空泵技术参数介绍

更新时间：2026-08-24

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EBARA EV-PA500属于EV-PA系列空冷式干式真空泵，采用无油结构和非接触式密封设计，设备不需要冷却水，主要用于分析仪器、研究实验及其他干式真空应用。

EV-PA500采用空冷方式，不需要额外配置冷却水。设备采用无油结构，可用于对真空侧洁净度有一定要求的应用。

产品采用非接触式密封结构，EBARA资料显示，该设计无需定期更换相关密封件，并兼顾低振动、低噪声使用需求。

EV-PA500最大排气速度为500L/min，气镇开启时为430L/min。

极限压力为0.5Pa，使用气镇时为2.0Pa。实际使用过程中，最终真空度还会受到系统漏率、管路长度、气体负载等条件影响。

EV-PA系列可用于分析仪器、电子显微镜、材料研究以及其他研究和真空设备配套场景。

对于具体应用，应根据系统所需真空度、抽气速度、气体性质和连接规格进行设备选型。

EBARA EV-PA500是一款500L/min级空冷式干式真空泵，采用无油设计，极限压力可达到0.5Pa，设备重量约21kg，支持单相100～230V电源。

其小型化、空冷和无油结构适合实验室及分析设备等真空系统配套使用。具体配置和使用条件应以实际产品资料为准。