MIYUKI 美幸辉 GAR 系列伺服控制闸阀真空调节方案说明

更新时间：2026-08-10

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GAR 系列伺服控制闸阀为美幸辉高流导电动真空闸阀，主要用于高真空系统的开度调节、腔体抽气节流与压力稳压，对比蝶阀拥有更大通导能力，适合大腔体、大抽速真空系统。

产品采用伺服直驱结构，断电电磁抱闸锁定阀位，设备断电时保持当前开度，防止腔体直接暴露大气，保护工件不被氧化。内置绝对值编码器，重启自动记忆原点，无需反复人工校准。阀体采用不锈钢材质，波纹管隔离阀杆，隔绝外部大气渗入，降低泄漏风险。

GAR 系列同样适配 MGCS 自动压力控制器，组成完整闭环调压系统。当腔体压力偏离设定值，控制器运算后实时调整闸阀开度，改变管路流导，实现压力稳定控制。相比传统手动阀门，可实现全自动化工艺联动，适配 24 小时连续生产。

应用场景集中在半导体工艺腔体、大型真空镀膜设备、空间环境模拟装置、锂电高温烧结真空管路。选型区分法兰类型、通径大小、是否需要闭环控制。注意闸阀体积大于同口径蝶阀，设备设计阶段需要预留安装空间；高烘烤工况需要确认密封件耐温参数。