ULVAC 爱发科 CR 系列风冷多级罗茨干式泵 CR16B/CR30B/CR60B-S/T/CR300B

更新时间：2026-07-21

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ULVAC 爱发科 CR 系列风冷多级罗茨干式泵 CR16B/CR30B/CR60B-S/T/CR300B 参数、供电区分与工况选型规范

ULVAC CR Ver.B 系列为空冷多级罗茨干式真空泵，泵腔全程无油运行、转子非接触式结构，无需配套冷却水、持续吹扫氮气，是实验室、中小型洁净镀膜、低温真空干燥、锂电脱气场景主流无油主泵，全系覆盖 16～300m³/h 抽速区间，主流型号包含 CR16B、CR30B、CR60B-S、CR60B-T、CR300B，区别于水冷重载 GR/LS 干泵，CR 系列主打轻量化、低基建投入、间歇 / 中小量产洁净工艺适配

一、核心通用结构技术优势

全干式洁净腔体
多级串联罗茨转子压缩，泵体内不注入真空油；齿轮、轴承润滑仓采用独立密封隔离，杜绝油蒸气返流污染工件，适配光学蒸镀、小型半导体辅助腔体、医疗器械真空处理等高洁净要求工艺。
一体式风冷散热，基建成本低
整机集成散热风道与内置消音器，无需冷却塔、水冷管路改造，设备进场仅接电即可投产；运行噪音≤65dB，可直接放置车间机架、实验台，无需独立隔音机房。
标配可调气镇机构
内置针阀式气镇接口，通入少量干燥空气可稀释、排出水蒸气，适配低温真空烘干、含水物料脱气；但仅支持微量水汽工况，严禁高浓度腐蚀溶剂、金属粉尘长期进气ULVAC SHOW...。
DC 屏蔽节能电机
相比传统异步电机功耗降低 20%，整机轻量化，最小机型 CR16B 自重仅 35kg，标配万向脚轮，移位、检修便捷；取得 CE、cTUVus 全球安全认证，适配海内外产线标准。

二、全型号参数梯度与 CR60B-S/T 供电区分

CR16B：最小流量机型，抽速 16m³/h，极限真空≤3Pa，单相供电，KF25 法兰；适配小型实验室试样炉、小型检漏台、微型蒸镀设备、研发打样腔体。
CR30B：中端小型量产款，抽速 30m³/h，极限真空≤3Pa，单相供电，KF40 法兰；中小型镜片镀膜、小型真空烘箱、锂电池小批量脱泡标配。
CR60B-S、CR60B-T：同本体抽速 55m³/h，极限真空≤3Pa，KF40 法兰，电机功率 1.5kW，二者仅供电制式区分：

CR60B-S：单相 200V 供电，厂房无三相电、实验室改造项目选用；
CR60B-T：三相 200V 供电，稳定持续量产、长时间 24h 运行工况优先选用。

CR300B：系列大流量旗舰机型，抽速 300m³/h，极限真空≤0.5Pa，三相供电；多级压缩优化，极限真空大幅提升，适配中型连续镀膜产线、批量冻干设备、半导体 Loadlock 中转腔体。

三、适用工况与选型边界

适配场景：洁净空气、氮气抽取、微量水蒸气低温干燥、溅射 / 蒸镀无油真空系统；

禁用场景：高酸碱腐蚀气体、大量金属粉尘、高温裂解溶剂、CVD / 刻蚀强污染工艺，此类工况需升级水冷防腐干泵。

四、运维配套规范

易损件仅进气滤芯、轴封密封圈，单人现场可快速更换；不同流量型号滤芯、密封件不可通用，备件需分型号库存。前端建议配套精密粉尘过滤器，延长泵内部件寿命；含水汽工艺需定期开启气镇，避免水汽冷凝腐蚀转子腔体。新旧设备替换时，CR 系列标准 KF 法兰通用，管路无需大幅改造，改造周期短。