SONIC超声波技术在半导体制造中的应用

更新时间：2026-06-22

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半导体制造工艺对超纯化学品和超纯水的流量控制有着极为严格的要求。

SONIC超声波液体流量计以其高精度、非接触、无污染等特性，成为半导体制造中微流量测量的关键设备。

在半导体制造工序中，IPA（异丙醇）、纯水、药液等介质的精确计量直接关系到芯片质量和良率。

SONIC ULF-300S型传感器分离式超声波液体流量计可实现对1mL/min起始的微流量高精度测定。

传感器的非接触结构设计确保了测量过程不会对超纯介质造成任何污染。

在洁净室环境监测方面，SONIC WA-790型三维超声波风速计可精确测量洁净室内的气流分布和湍流状况。

这对于维持ISO Class 5及以上等级洁净室的环境稳定性至关重要。

产品可应用于液晶面板和LED生产线的气流监控。

SONIC超声波测量仪器以其高精度、高可靠性和无污染特性，已成为半导体和面板制造业的重要检测设备。