解密氧化锆氧气分析技术——第一热研的核心竞争力

更新时间：2026-04-23

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第一热研在工业气体分析领域的技术根基，源于其对氧化锆氧气传感器技术的长期深耕。

TB系列传感器是其具代表性的产品之一，也是全球一内置加热器的此类产品，覆盖了极为广泛的应用场景。

氧化锆气体传感器的核心采用稳定氧化锆陶瓷作为检测元件。传感器内置加热器将氧化锆电解质维持在高温状态，使其成为氧离子的导体。当传感器两侧的氧气浓度不同时，会产生一个与浓度差相关的电动势，通过精密的电路测量这一电势，即可精确计算出氧气分压。这一技术路线的优势在于测量范围极宽——可从百分比级浓度一直延伸至高真空环境，覆盖了从常压到高真空的绝大多数工艺场景。同时，氧化锆传感器以其长期稳定性和抗污染能力著称，能够大幅减少校准和维护频率。

第一热研的TB系列传感器还具备多层防护结构，能够耐受HCL、SOx等腐蚀性气体的侵蚀，测量范围可达-20%至25%氧气，线性度和再现性均在±1%FS以内，响应速度在10秒内达到90%响应。在结构方面，这些传感器设计简单，便于现场维护。

正是基于氧化锆氧气分析技术的持续深耕，第一热研构建起了覆盖半导体制造、真空热处理、钢铁冶金等多个高要求行业的技术产品体系，成为该领域的重要技术力量。

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