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产品分类 / PRODUCT
更新时间：2025-12-22 
浏览次数：167什么是干式真空泵？
干式真空泵是一种无需油或水等介质润滑的真空设备，它通过机械结构直接压缩和排出气体，避免了传统真空泵的油蒸汽污染问题，特别适合半导体、化工、制药等对洁净度要求高的领域。
它的核心优势在于：
无污染：无油蒸汽返流，适合处理腐蚀性气体或含颗粒物的工况；
高效节能：比如螺杆式设计能耗低，真空度高；
维护简便：无油结构减少了部件损耗，寿命更长。
按工作原理，它主要有几种类型：
螺杆式：通过螺杆旋转压缩气体，无摩擦、低噪音，还能处理蒸汽或粉尘；
爪式：多级转子结构，通过闭合和开放气口输送气体；
涡旋式：利用涡旋盘相对运动压缩气体；
往复式：通过活塞运动改变泵腔容积，适合高真空场景。
在半导体、化工、制药、食品加工和新能源等领域，干式真空泵都是关键设备，能有效解决传统泵的介质污染和腐蚀性气体处理问题。
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